捷锐企业u57系列单级调整器是一种无弹簧,无螺纹,现代半导体制造商使用束缚隔膜设计,设备制造商和zui终用户。我们的金属膜片阀体密封的目的是减少泄漏和提供优良的精度和寿命。
特征
316l和哈氏合金®体
金属对金属密封膜片体
简单的前面板和后支架安装
表接口标准的1 / 4“密封男。1 / 4“内部密封的女性也可
无弹簧或螺纹暴露于湿润地区
标准的充分的内部的电解抛光
设计的非常低的粒子产生
清洗,组装和包装的高纯度半导体应用
高循环寿命
的氦泄漏试验
建筑材料
湿的
体316l不锈钢,哈氏合金®
座pctfe
®隔膜埃尔基洛伊耐蚀游丝合金,哈氏合金®
提升316l不锈钢
受压构件316l不锈钢
剩余部分的316l不锈钢
非润湿
螺母316不锈钢
镀镍黄铜帽
abs塑料旋钮
操作条件
zui大进口压力为300 psig的(20巴)
出口压力0-30 psig(2 barg)
温度0°f 140°f(18 c 60°°c)
功能表现
流量cv = 0.054
zui大泄漏率:
内漏0.5×10-9 atm cc /秒他
外漏1×10-9 atm cc /秒他
在阀座泄漏1×10-9 atm cc /秒他
zui大额定耐压压力150%
zui大额定压力爆破压力400%
表面光洁度
标准的ra(ep)在10
可选的ra(ep)在5
内部容积9.3cc
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型号参数:
series | body | ports | seat | inlet pressure | outlet pressure | gauge | inlet/outlet connections | options |
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u57 | sl: 316l | a: 2 port | k: pctfe | g: 300psig | l: 0-30psig | p: with gauge | 91: fsr(1/4"f) | e: 5 μin |
h: hasloy® | b: 3 port | w: without gauge | 92: fsr(1/4"m) | i: internal 1/4" fsr(f) gauge ports | ||||
g: 4 port | 41: 1/4" tube weld stub | t: trim hasloy® internal |
18072962896